摘 要 为实现对无尘室各项厂务系统严格且准确的自动化监控，必须保证对自动化仪表控制系统与监控设备仪器仪表进行充分了解与运用。本文就针对半导体电子类厂房自动化仪器仪表在无尘室监控系统的使用进行研究与分析。

关键词 无尘室;监控系统;自动化仪表控制系统;仪器仪表

引言

随着当今经济的迅速发展以及科学水平的不断提高，我国在科技电子产业取得了很大程度上的进步，为国民经济的发展做出了重要贡献。半导体电子制造类企业作为中国电子科技腾飞的产业支柱，着重根据其产品工艺制程的特殊需求以及制程对生产环境洁净等级及相关精度、厂务数据监测提出了严格要求。

1 无尘室监控系统

（1）系统组成：无尘室监控系统是一个系统性、综合性系统，主要包含有工作站、打印机、工业交换机、PLC硬件与软件、图控软件、控制阀以及相关仪器仪表。

（2）监控目的：通过对无尘室进行有效监控，充分掌握厂务相关设备及其具体的运行参数，在此基础上通过自动控制逻辑，实现对设备的预设控制

（3）监控范围：监控系统的监控范围主要包含超纯水/去离子水系统监控，废水处理系统监控，化学品系统监控，特气系统监控，大宗气体系统监控，电力监控，洁净室系统的环境指标（包括新风机组、工艺排风、干盘管、FFU/CCU、洁净室温湿度及其精度等）;一般机械电力系统（包括冷冻水、冷却水、热水系统、工艺冷却水、工艺真空、清扫真空、压缩空气系统等）[1]。

2 自动化仪表控制系统

2.1 自动化仪表控制系统的技术特性

（1）存储功能：自动仪表控制系统具有良好的存储功能，它能够对仪器仪表的运行情况的实时数据进行记录，并将监测的数据存储与后台处理器。工作人员只需从后台处理器之中调出相关数据便能够了解仪器仪表在各个时段的数据信息，提供科学精准的数据参考。

（2）可拓展性：自动化仪表控制系统设置了与硬件相配套的应用软件，能够对有效实现对仪表控制系统的数字化处理。应用软件本身具备一定的可拓展性，因此无须在控制系统之外进行相关硬件设备的安装，只要工作人员结合功能需求对应用软件进行一定程度的调整或升级，便可进一步拓展应用软件功能的目的。

（3）信息计算与处理能力：通过利用微型计算机，可以对控制系统的数据计算能力与处理能力进行一定程度的提升。可以将特定时间段内的水信息以图像的方式进行展现，以此来对不同阶段的设备运行情况进行有效的反应。

2.2 自动化仪表控制系统的应用

（1）在传感技术中的应用：将传感技术与自动化仪表控制系统进行有机结合，可以对自动化仪表的响应速度进行一定程度提高。对于传感技术而言，它可以对控制系统的调节模式做出改变，并以此实现非线性调节，在这种调节方式之下，自动化仪表的多回路问题得到了有效解决。同时，传感技术为也为自动化仪表控制系统的集成化与一体化提供了有益的技术支持。

（2）智能化调节器的应用：随着科学技术水平的不断提高，微计算机处理技术也在不断完善，借助微计算机处理技术，仪表调节器逐渐朝着智能化、现代化的方向发展。为了实现仪表调节器智能化的提升，需要在其数字化管理基础上对控制系统的计算能力与处理能力进行有效的提升。

（3）可编程控制器的应用：当前，计算机信息技术与微电子技术发展迅速，促进了自动化仪表控制系统的发展，使其呈现出集成化与一体化趋势[2]。

3 无尘室监控系统中主要的仪器仪表

（1）风管型露点传感器：主要作用是对温度、相对湿度以及露点进行一定程度测量。在无尘室监控系统中，用于测量出风口的露点温度，风管型露点传讯器是基于HUMICAP传感器技术，通过此技术可以保证相关参数测量准确性与稳定性。它可以对-20～80℃温度范围进行测量，测量精度为±0.2℃;对0%～100%相对湿度进行测量，测量精度为±1.7%;对-20～80℃露点进行测量。其显示方式为LED显示。

（2）风管型焓值传感器：主要作用是对温度、相对湿度以及热焓进行测量。在温度与相对湿度测量方面，其测量范围与测量进度与风管型露点传讯器一致;在热焓测量方面，其测量范围在-40～1500kJ/kg之间。

（3）风管型温度传感器：主要作用是对温度与相对湿度进行测量。风管型温度传讯器能够测量-20～80℃范围内的温度，测量精度为±0.2℃;对0%～100%相对湿度进行测量，测量精度为±2%。其供电电源为24V DC，防护等级为IP65。

（4）室内温湿度传感器：主要作用是对温度与相对湿度进行测量。风管型温度传讯器能够测量-5℃～55℃范围内的温度，测量精度为±0.2℃;对0%～100%的相對湿度进行测量，测量精度为±2%。其供电电源为24V DC，防护等级为IP65。

（5）室内温度传感器：在无尘室监控系统中主要用于测量无尘室的温度。它能够测量-5℃～55℃范围内的温度，测量精度为±0.1℃。其供电电源为24V DC。

（6）风管静压传感器：主要作用是对压力进行测量，在无尘室监控系统之中主要用于测量风管的静压。风管静压传讯器能够测量0～10000Pa范围内的压力，测量精度为±1FS。其供电电源为24V DC，防护等级为IP65。

（7）室内静压传感器：在无尘室监控系统中主要用于测量室内的静压。室内静压传讯器能够测量-50～50Pa范围内压力，测量精度为±1FS。其供电电源为24V DC，防护等级为IP65。

4 结束语

本文主要针对半导体电子厂自动化仪器仪表在无尘室监控系统的使用进行研究与分析。首先对无尘室监控系统进行了一定程度的介绍，从技术特性与具体应用两个方面分析了自动化仪表控制系统。最后阐述了无尘室监控系统中主要的仪器仪表，介绍了仪器仪表的主要作用与相关参数。

参考文献

[1] 王惠影.自动化仪表控制系统技术研究[J].石化技术，2015，（12）： 128-128.

[2] 刘世杰.自动化仪表控制系统技术探讨[J].数字通世界，2016，（5）： 245-245，246.